Persyaratan pengukuran
Memindai garis untuk mengukur perbedaan antara substrat dan lapisan sebagai permukaan patokan yaitu ketebalan lapisan

Gambaran umum fitur utama
Pengukuran tanpa kontak, desain terintegrasi
2. Aplikasi luas, mudah dipasang dan dibongkar
± 0,5 hingga ± 1 μm akurasi pengulangan dijamin
4. pemindaian garis satu, kecepatan dapat mencapai 50mm / s, sangat meningkatkan kecepatan deteksi
Deteksi offline, penyimpanan data ketebalan, pembentukan data dasar statistik manajemen / analisis
6. fungsi alarm kaya, OK, NG petunjuk, pemantauan pengukuran seluruh proses, kontrol kualitas, meningkatkan efisiensi

Hasil pengukuran
Ketebalan lapisan sekitar 18μm ± 1μm

Mengatasi masalah pada perangkat pengukuran pada tahap ini

Ada persyaratan tertentu untuk bahan pengukuran
Pengukuran kontak, bahan pengukuran rusak
3. rentang pengukuran kecil, posisi tidak pasti, kesulitan pengukuran
Kecepatan pengukuran lambat, akurasi rendah, kesalahan pengukuran besar

Struktur yang kompleks dan biaya yang tinggi